코닝이 공급하는 소재들은 내구성과 투과율이 높고 열팽창계수가 낮아 리소그래피 장비의 광원부터 반도체 웨이퍼까지 빛을 전달하기에 이상적입니다. 이러한 특성 덕분에 나노미터 수준의 특징까지 정밀하게 구현할 수 있습니다.
코닝의 각 소재는 포토리소그래피 공정에서 빛을 제어하는 데 도움이 되는 독보적 속성을 갖췄습니다. CaF2는 내구성이 탁월하여 DUV 레이저의 높은 에너지 수준을 견딥니다. HPFS®는 초순수 소재로 가장 엄격한 수준의 이미징 성능을 요구하는 일루미네이션 및 이미징 광학 제품에 적합합니다. ULE® 글라스는 EUV 스테퍼의 까다로운 열 환경에도 형태와 이미지 성능을 유지할 수 있을 만큼 안정성이 뛰어난 소재입니다.
코닝은 첨단 리소그래피에 적합한 초순수 고성능 소재를 공급하는 세계적 선도 기업입니다.
광범위한 상업용 유리 및 크리스털 제품군
We Produce the World's Most Immaculate Materials for Your Application
코닝® ULE® 글라스 (초저팽창 유리)
코닝® ULE® 글라스 (초저팽창 유리)
티타니아-실리케이트 저팽창 유리로 EUV리소그래피 애플리케이션용 마스크 및 광학 기판의 요건을 충족하도록 설계되었습니다.
티타니아-실리케이트 저팽창 유리로 EUV리소그래피 애플리케이션용 마스크 및 광학 기판의 요건을 충족하도록 설계되었습니다.
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코닝® HPFS® 용융 실리카
코닝® HPFS® 용융 실리카
용융 실리카는ArF및 KrF 리소그래피와 스테퍼 광학 부문에서 필수 소재이며, 가장 엄격한 수준의 이미징 성능 사양도 충족하는 일루미네이션과 이미징 광학을 제작하는 데 이상적입니다.
용융 실리카는ArF및 KrF 리소그래피와 스테퍼 광학 부문에서 필수 소재이며, 가장 엄격한 수준의 이미징 성능 사양도 충족하는 일루미네이션과 이미징 광학을 제작하는 데 이상적입니다.
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맞춤형 크기의 광학 유리
맞춤형 크기의 광학 유리
반도체 산업, 고출력 레이저 공정, OLED 디스플레이 제조, 레이저의 이물 보호막에 적용 가능한 고품질 유리입니다.
반도체 산업, 고출력 레이저 공정, OLED 디스플레이 제조, 레이저의 이물 보호막에 적용 가능한 고품질 유리입니다.
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코닝의 발명
고객의 가장 어려운 광학적 과제 해결
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코닝의 반도체용 유리가 어떻게 더 스마트하고, 연결된 세상을 만드는 데 기여하는지 알아보세요.
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코닝 반도체 소재
자세한 내용은 담당팀으로 문의해 주시기 바랍니다.
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코닝은 귀사가 프로젝트를 실현할 수 있도록 적절한 솔루션을 지원합니다.
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