극도의 열 안정성, 열이력 없음, 대형 사이즈 구현, 지연 탄성 등 여러 성능상 장점이 있습니다.
코닝® ULE® 글라스: EUV 리소그래피에 이상적인 탁월한 반사 특성
초저팽창 (ULE®, ultra-low expansion) 글라스는 까다로운 천문학 애플리케이션을 위해 1960년대에 발명되었습니다. ULE 글라스는 극한의 온도 변화에도 치수 변형이 거의 없는 안정성을 갖춘 티타니아-실리케이트 소재로 반사 망원경 광학계에 적합한 소재입니다.
리소그래피가 193 nm에서 13.5 nm로 전환되면서 스테퍼 광학이 굴절형에서 반사형으로 바뀌는 설계상의 대전환이 필요했습니다. 주로 화염 가수분해 공법으로 생산되는 ULE® 글라스는 열 안정성이 뛰어나 반도체 제조 공정의 EUV 리소그래피에 이상적인 소재입니다. 이러한 안정성 덕분에 ULE 글라스는 고정밀 제어가 필수적인 애플리케이션에 이상적입니다.
포토마스크 기판, 기계 레퍼런스 블록, 스테퍼 광학, 계측 및 소재 치수의 변형이 성능과 정확도를 저해하는 각종 공정에 적합합니다. 코닝은 60여년의 ULE 글라스 생산 경험을 기반으로 유리의 혼입 및 유리 내 줄무늬 수준을 줄이고 열팽창계수(CTE) 계측 역량을 강화해 나가고 있습니다.
보도 자료
코닝, EUV 리소그래피용 코닝® EXTREME ULE® 글라스 출시
코닝, EUV 리소그래피용 코닝® EXTREME ULE® 글라스 출시
코닝의 차세대 유리EXTREME ULE®는 열팽창 특성을 통해EUV 포토마스크 등 각종 애플리케이션에서 탁월한 일관성과 성능을 구현합니다. 또한 EXTREME ULE®는 평탄도와 균일성이 뛰어나 포토마스크의 굴곡을 대폭 줄여 제조사가 원하지 않는 변동성을 제한하고 첨단 코팅 적용을 가능하게 합니다.
코닝의 차세대 유리EXTREME ULE®는 열팽창 특성을 통해EUV 포토마스크 등 각종 애플리케이션에서 탁월한 일관성과 성능을 구현합니다. 또한 EXTREME ULE®는 평탄도와 균일성이 뛰어나 포토마스크의 굴곡을 대폭 줄여 제조사가 원하지 않는 변동성을 제한하고 첨단 코팅 적용을 가능하게 합니다.
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망원경 광학
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자세히 알아보기코닝의 유리 소재는 우수한 특성을 갖춰 천문 광학 분야에서 세계 최고로 평가받고 있습니다. ULE는 이러한 특성 덕분에 경량 반사 광학 및 직경 최대 8미터에 이르는 대구경 반사경에 최적의 소재로 채택되었습니다. 허블 우주망원경에서 루빈 천문대에 이르기까지, 코닝은 과거, 현재는 물론 미래에도 우주 탐사 임무를 지속적으로 지원합니다.
코닝의 유리 소재는 우수한 특성을 갖춰 천문 광학 분야에서 세계 최고로 평가받고 있습니다. ULE는 이러한 특성 덕분에 경량 반사 광학 및 직경 최대 8미터에 이르는 대구경 반사경에 최적의 소재로 채택되었습니다. 허블 우주망원경에서 루빈 천문대에 이르기까지, 코닝은 과거, 현재는 물론 미래에도 우주 탐사 임무를 지속적으로 지원합니다.
EXTREME ULE® 글라스 및 ULE® 글라스
자세한 내용은 담당팀으로 문의해 주시기 바랍니다.
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코닝은 귀사가 프로젝트를 실현할 수 있도록 적절한 솔루션을 지원합니다.
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